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XTRAIA CD-3010G日本理學(xué)RIGAKUT淺層重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量

更新時(shí)間：2025-04-23

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XTRAIA CD-3010G

可以使用 GISAXS 和 X 射線反射（XRR）測(cè)量來(lái)測(cè)量 CD，以測(cè)量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容最大 300 毫米的晶圓

技術(shù)	傾斜小角 X 射線散射測(cè)量（GISAXS）， X 射線反射測(cè)量（XRR）
用	淺層重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量
X 射線源	包合管，Cu Ka （8.04 KeV）
X 射線光學(xué)元件	多層反射鏡光學(xué)元件
X 射線探測(cè)器	二維探測(cè)器
主要組件	圖案化晶圓測(cè)量周期性精細(xì)3D形狀線和空間，點(diǎn)或孔結(jié)構(gòu) ，淺孔/列，抗蝕劑，掩模圖案，存儲(chǔ)設(shè)備單元區(qū)域，F(xiàn)inFETs/GAAs
特征	圖形識(shí)別和全晶圓映射
選擇	GEM300 軟件，支持 E84/OHT
本體尺寸	1865（寬）× 3700（深）× 2115（高）毫米，2965 公斤（包括裝載口）
測(cè)量目標(biāo)	GISAXS：間距、CD、高度、SWA（側(cè)壁角度）、RT（頂部圓角）、RB（底部圓角）、線寬分布、間距分布、高度分布 XRR：薄膜厚度、密度和粗糙度