產(chǎn)品分類
更新時間：2025-09-09 
瀏覽次數(shù)：67渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉(zhuǎn)子的聯(lián)合運動來排氣的干式真空泵。
用途廣泛，包括真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。
渦旋式干式真空泵由兩個形狀相同的渦旋體組成，渦旋體的中心稍微偏移，使它們的壁彼此線接觸，從而一側(cè)相對于另一側(cè)進行搖擺運動，其結(jié)構(gòu)是這樣的。被困在月牙形空間中的氣體被向中心壓縮并從中心的孔排出。 壓縮過程通常設計為發(fā)生兩次或多次，從而產(chǎn)生較低的振動和噪音。極限壓力可達1Pa。
•雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
•可實現(xiàn)高極限真空。
•低振動低噪音。
•維護周期可通過計時表控制。
結(jié)構(gòu)緊湊，排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內(nèi)置自動復位型熱保護器（單相用）安全設計。。
通過空氣沖洗抑制水分凝結(jié)。。
分析設備
氣體回收系統(tǒng)
涂裝設備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導體制造工藝
１ | 粉末和生成物吸入會導致泵損壞。 |
２ | 吸入有害氣體如爆炸性氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。 |
３ | 三相規(guī)格沒有電機保護功能。 |
DIS-501（Single phase）
DIS-501（Three phase）
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